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电子级超纯水设备

美国材料实验学会(ASTM1983、1990年颁发的电子级水质标准,已不能适应超大规模集成电路迅速发展需要。目前ASTM提出了新的、更为严格的水质指标。Bolindustry膜分离事业部,专业为半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、微电子工业、大规模集成电路行业,提供生产所需纯水、高纯水、超纯水工艺设计及成套设备。                  

系统产水符合国家《GB/T 11446.1-2013电子级水》标准;
采用先进的全膜法工艺,实现更小占地面积,及高度自动化运行;
实现电阻率≥18.3MΩ的超纯水制备;
对产水TOC处理:≤5μg/l;
系统产水符合国家《GB/T 11446.1-2013电子级水》标准;
主配置采用DOW陶氏膜元件、西门子EDI、DOWEX抛光树脂,以及Aquafine UVTOC装置。

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